微机电系统（MEMS）技术是一种结合了传统机械工程和微电子学的新型科学技术。它通过使用半导体制造工艺来批量生产微型化的机械结构和设备，这些结构的尺寸通常在毫米到微米之间。这种技术的应用范围非常广泛，涵...
